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| 第十三讲:真空系统的检测技术 | |
| 引用本文： | 张以忱.第十三讲:真空系统的检测技术[J].真空,2004,41(6):62-64. |
| 作者姓名： | 张以忱 |
| 作者单位： | 东北大学,辽宁,沈阳,110004 |
| 摘 要： | (上接2004年第5期第64页) 5 真空系统气密性测试 5.1 漏气及其产生原因 在真空技术和设备的应用中,真空系统的漏气是不可避免的,真空检漏的目的是使系统中的漏气量小到工艺要求所允许的程度. |
| 关 键 词： | 真空系统 气密性 漏孔 检测技术 |
No.13:Check and measure technology for vacuum system |
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| Abstract: | |
| Keywords: | |
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