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| 脉冲激光等离子体合成SiC陶瓷粉末过程研究 | |
| 引用本文： | 傅广生,于威.脉冲激光等离子体合成SiC陶瓷粉末过程研究[J].光电子．激光,1994,5(5):290-295. |
| 作者姓名： | 傅广生 于威 |
| 作者单位： | 河北大学物理系 |
| 摘 要： | 本文用强ＴＥＡＣＯ２脉冲激光诱发ＳｉＨ４＋ＣＨ４等离子体化学气相反应制备出纳来ＳｉＣ陶瓷粉末，分析并讨论了制备粉末材料的实验过程，得到了粉末合成的最佳工艺条件。 |
| 关 键 词： | 碳化硅 陶瓷粉末 脉冲激光 等离子体 合成 |
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