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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
K波段小型化收发前端的研制
作者姓名:
吕文倩
吴亮
汤佳杰
孙晓玮
作者单位:
中科院上海微系统与信息技术研究所
基金项目:
国家重点基础研究发展计划项目
摘 要:
为了显著降低K波段雷达收发前端的尺寸,提高系统性能,研究了一种基于低阻硅埋置腔体和BCB/Au金属互连的毫米波系统级封装技术,采用两层BCB涂覆的方式改善了BCB覆盖不均的情况。制备的K波段雷达收发前端中包含压控振荡器、低噪声放大器、混频器及功分器,尺寸仅有6.4*5.4 mm2,测试结果显示,在22.5 GHz 到 22.9 GHz的频带内,发射功率大于11dBm,中频增益大于10dB, 发射端到中频输出端隔离度大于30dB,满足系统小型化、高性能的需求。
关 键 词:
毫米波
收发前端
系统级封装
小型化
BCB/Au 金属互连
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