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K波段小型化收发前端的研制
作者姓名:吕文倩  吴亮  汤佳杰  孙晓玮
作者单位:中科院上海微系统与信息技术研究所
基金项目:国家重点基础研究发展计划项目
摘    要:为了显著降低K波段雷达收发前端的尺寸,提高系统性能,研究了一种基于低阻硅埋置腔体和BCB/Au金属互连的毫米波系统级封装技术,采用两层BCB涂覆的方式改善了BCB覆盖不均的情况。制备的K波段雷达收发前端中包含压控振荡器、低噪声放大器、混频器及功分器,尺寸仅有6.4*5.4 mm2,测试结果显示,在22.5 GHz 到 22.9 GHz的频带内,发射功率大于11dBm,中频增益大于10dB, 发射端到中频输出端隔离度大于30dB,满足系统小型化、高性能的需求。

关 键 词:毫米波  收发前端  系统级封装  小型化  BCB/Au 金属互连
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