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硅（111）衬底上的硅化铼薄膜
引用本文：敏键.硅（111）衬底上的硅化铼薄膜[J].电子材料快报,1995(7):12-13.
作者姓名：敏键
摘    要：
关 键 词：硅衬底  硅化铼  半导体薄膜  硅
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