| 超声振动辅助激光烧蚀铝表面形貌仿真分析 |
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| 引用本文： | 张明月,王岩,殷杰,董颖怀,李跃华,赵静楠.超声振动辅助激光烧蚀铝表面形貌仿真分析[J].光电子．激光,2023,34(3):321-327. |
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| 作者姓名： | 张明月 王岩 殷杰 董颖怀 李跃华 赵静楠 |
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| 作者单位： | 天津科技大学 机械工程学院，天津 300222,天津科技大学 机械工程学院，天津 300222 ;天津市轻工与食品工程机械装备集成设计与在线监控重点实验室，天津 300222,天津科技大学 机械工程学院，天津 300222,天津科技大学 机械工程学院，天津 300222 ;天津市轻工与食品工程机械装备集成设计与在线监控重点实验室，天津 300222,天津航天机电设备研究所，天津 300301,天津科技大学 机械工程学院，天津 300222 ;天津市轻工与食品工程机械装备集成设计与在线监控重点实验室，天津 300222 |
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| 基金项目： | 天津市自然科学基金项目(19JCZDJC33200,18JCQNJC05200,18JCYBJC88900)、天津市教委科研计划项目(2018KJ116)、2021 年天津市研究生科研创新项目(2021YJSS043)资助项目 |
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| 摘 要： | 为研究超声复合激光蚀除机理，本文使用COMSOL软件对超声振动辅助激光烧蚀金属铝表面烧蚀过程进行仿真，对比研究了超声振动对激光蚀除机理和过程的影响。研究发现，激光烧蚀的开始阶段主要以高温汽化来去除材料。随着烧蚀时间的增加，蚀除方式主要转变为熔融物飞溅蚀除，这对烧蚀凹坑的形成起主要作用。并研究了不同频率下激光蚀除材料的速度，研究发现，引入超声振动后，蚀除速度降低了26.2%-39.43%。
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| 关 键 词： | 激光烧蚀 COMSOL 超声振动 有限元仿真 表面形貌 |
| 收稿时间： | 2022/3/17 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2022/5/26 0:00:00 |
Simulation of ultrasonic vibration-assisted laser ablation of aluminum surface morphology |
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| ZHANG Mingyue,WANG Yan,YIN Jie,DONG Yinghuai,LI Yuehua and ZHAO Jingnan.Simulation of ultrasonic vibration-assisted laser ablation of aluminum surface morphology[J].Journal of Optoelectronics·laser,2023,34(3):321-327. |
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| Authors: | ZHANG Mingyue WANG Yan YIN Jie DONG Yinghuai LI Yuehua and ZHAO Jingnan |
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| Affiliation: | College of Mechanical Engineering,Tianjin University of Science and Technology, Tianjin 300222, China,College of Mechanical Engineering,Tianjin University of Science and Technology, Tianjin 300222, China;Tianjin Key Laboratory of Integrated Design and On-line Monitoring for Light Industry & Food Machinery and Equipment, Tianjin 300222, China,College of Mechanical Engineering,Tianjin University of Science and Technology, Tianjin 300222, China,College of Mechanical Engineering,Tianjin University of Science and Technology, Tianjin 300222, China;Tianjin Key Laboratory of Integrated Design and On-line Monitoring for Light Industry & Food Machinery and Equipment, Tianjin 300222, China,Tianjin Institute of Aerospace Mechanical and Electrical Equipment, Tianjin 300301, China and College of Mechanical Engineering,Tianjin University of Science and Technology, Tianjin 300222, China;Tianjin Key Laboratory of Integrated Design and On-line Monitoring for Light Industry & Food Machinery and Equipment, Tianjin 300222, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | laser ablation COMSOL ultrasonic vibration finite element simulation surface morphology |
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