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| 低量程高精度压力传感器芯片设计与工艺 | |
| 引用本文： | 郭宏. 低量程高精度压力传感器芯片设计与工艺[J]. 微电子学与计算机, 2008, 25(11) |
| 作者姓名： | 郭宏 |
| 作者单位： | 天津大学,天津,300072 |
| 摘 要： | 介绍了通过半导体单岛膜结构设计和MEMS工艺技术对扩散硅原理的压力传感器设计及应用进行了拓展.在低量程范围较大幅度提搞了压力传感器精度,并对实现产品关键工艺条件进行了描述. |
| 关 键 词： | 压力 传感器 量程 |
Design for Low Range and High Accuracy Pressure Sensor |
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| GUO Hong. Design for Low Range and High Accuracy Pressure Sensor[J]. Microelectronics & Computer, 2008, 25(11) | |
| Authors: | GUO Hong |
| Abstract: | Introduce to apply the "single-island film" construction in pressure sensor designing,improving the accuracy,and also introduce some key technology conditions for manufacture. |
| Keywords: | pressure sensor range |
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