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Au/SiO-2/α-Si:H中Au与α-Si:H的相互作用研究
作者姓名:王雪文  张志勇
作者单位:1. 西北大学电子科学系,西安,710069
2. 西北大学电子科学系,西安,710069;西安理工大学自控系,西安,710048
摘    要:
近年来对Au/α-Si:H系统分形及晶化方面的研究很多[1,2],它们的共同点是双层膜蒸镀都在真空中一次完成,中间不离开真空室,硅分形易于形成且效果非常显著.

关 键 词:半导体 氢化非晶硅 金 分形 薄膜 晶化
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