| 13.9 nm Laminar分束光栅的研制 |
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| 引用本文： | 谭鑫,刘颖,徐向东,洪义麟,付绍军.13.9 nm Laminar分束光栅的研制[J].光学精密工程,2009,17(1). |
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| 作者姓名： | 谭鑫 刘颖 徐向东 洪义麟 付绍军 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学技术大学,国家同步辐射实验室,安徽,合肥,230029;中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033
2. 中国科学技术大学,国家同步辐射实验室,安徽,合肥,230029 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金-中国工程物理研究院联合基金(NSAF基金)，国家高技术研究发展计划(863计划)，中国科学技术大学青年基金 |
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| 摘 要： | 利用全息-离子束刻蚀工艺制作了工作波长为13.9 nm的Laminar分束光栅.光栅的线密度为1 000 lp/mm,槽深13 nm,占宽比0.43,Au膜厚度为40 nm左右;当工作波长为13.9 nm,入射角为81.2°时,其0级与-1级衍射光衍射效率乘积的最大值为8.1%,同时0级与-1级衍射效率亦接近,约为27%和30%.实验结果表明,研制的Laminar光栅可用于13.9 nm激光的分束,能够获得＞7%的分束效率.
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| 关 键 词： | 软X射线 分束光栅 衍射光栅 干涉仪 |
13.9 nm Laminar grating as beam splitter |
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| TAN Xin,LIU Ying,XU Xiang-dong,HONG Yi-lin,FU Shao-jun.13.9 nm Laminar grating as beam splitter[J].Optics and Precision Engineering,2009,17(1). |
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| Authors: | TAN Xin LIU Ying XU Xiang-dong HONG Yi-lin FU Shao-jun |
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