基于声发射的真空泄漏在线检测技术研究

真空泄漏是气体动力系统运行过程中的常见故障，传统的氦质谱检漏无法实现对真空泄漏的在线检测。本文利用声发射技术阐述了基于声发射信号的真空泄漏在线检测原理，通过真空泄漏声发射检测模拟试验，并利用参数特征分析法和平均频谱分析法对不同泄漏孔径下产生的声发射信号的特征进行了研究，得到了相应的小波包归一化频带能量分布特征。研究结果表明，真空泵运行的平均时域信号频带在20kHz以下，气体泄漏激发出大量的高频声发射信号，泄漏信号参数特征值与泄漏孔径的大小密切相关，泄漏信号的归一化能量分布一致性较好。声发射技术对于真空泄漏的在线检测及泄漏量评价等有实际意义。