用于绝对距离测量的0.6328μm氦-氖激光外差干涉仪 |
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引用本文: | 赵洋,任伟明.用于绝对距离测量的0.6328μm氦-氖激光外差干涉仪[J].计量学报,1994(1). |
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作者姓名: | 赵洋 任伟明 |
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作者单位: | 清华大学精密仪器系 |
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摘 要: | 提出了一种用于绝对距离测量的新型外差干涉仪,它采用0.6328μm双模氦-氖激光器,光外差干涉和电信号混频、比相技术,直接测量合成波小数级次。此法避免了该领域常用的外差干涉仪的不足和拍波干涉仪结构复杂的问题,而且测量精度高、抗干扰能力强、测量时间短,使绝对距离测量技术更具有实用性。
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关 键 词: | 绝对距离测量,激光外差,测相,小数级次测量 |
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