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非晶态碳膜及其应用
引用本文:钱苗根.非晶态碳膜及其应用[J].材料科学与工程,1991,9(1):15-19.
作者姓名:钱苗根
摘    要:

关 键 词:非晶态  碳膜  薄膜技术
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