| 金属膨胀式真空计量标准 |
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| 引用本文： | 吕时良,李得天,张涤新,田东旭.金属膨胀式真空计量标准[J].真空科学与技术学报,1998,18(4):266-271. |
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| 作者姓名： | 吕时良 李得天 张涤新 田东旭 |
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| 作者单位： | 兰州物理研究所,兰州,730000 |
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| 摘 要： | 介绍了新研制的金属膨胀式真空计量标准及其起始压力和体积比的测量方法，讨论了实际气体特性、温度变化和气体吸附等干扰效应，分析了标准装置的不确定度（1σ）。该标准的校准范围为105～10-4Pa，校准电容薄膜规和磁悬浮转子规时不确定度为0．01％～1．0％。
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| 关 键 词： | 真空 计量标准 静态膨胀法 |
| 修稿时间： | 1997年6月2日 |
A Static Expansion Vacuum Standard |
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| L Shiliang,Li Detian,Zhang Dixin,Tian Dongxu.A Static Expansion Vacuum Standard[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,1998,18(4):266-271. |
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| Authors: | L Shiliang Li Detian Zhang Dixin Tian Dongxu |
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| Affiliation: | L(U) Shiliang,Li Detian,Zhang Dixin,Tian Dongxu |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Vacuum Measurement standard Static expansion method |
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