|
|||||
|
|
| 新型大尺寸电磁驱动MEMS光学扫描镜的研制 | |
| 引用本文： | 穆参军,张飞岭,吴亚明.新型大尺寸电磁驱动MEMS光学扫描镜的研制[J].半导体学报,2008,29(3). |
| 作者姓名： | 穆参军 张飞岭 吴亚明 |
| 作者单位： | 1. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050;中国科学院研究生院,北京,100039 2. 飞索半导体(中国)有限公司,苏州,215021 3. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050 |
| 基金项目： | 上海市科学技术委员会光技术专项资助项目 |
| 摘 要： | 设计并制作了一种结构新颖的镜面尺寸为6mm×4mm的电磁驱动MEMS光学扫描镜.这种背面为微型铜驱动线圈的MEMS硅基扭转镜面沉浸在由包含永磁体的磁回路产生的磁场中,当电流信号通过驱动线圈时,MEMS光学扫描镜绕着扭转梁发生了大角度的扫描运动.采用MEMS体硅加工工艺和电镀技术制作的器件显示出了优良的性能,实验获得的扫描镜静态转角斜率为0.03°/mA,当器件进行动态扫描时,在381Hz的谐振频率下获得了最大±10.2°的光学扭转角度,空气中的Q因子为221,相应的功耗为13μW,与此同时MEMS光学扫描镜具备了出色的镜面粗糙度、光学反射率和镜面平整度.实验证明该器件完全适合于微型光谱仪和可调光滤波器的应用. |
| 关 键 词： | MEMS 大尺寸光学扫描镜 电磁驱动 大角度转动 光学反射率 |
A Novel Large-Scale Electromagnetically Actuated MEMS Optical Scanning Mirror |
|
| Mu Canjun,Zhang Feiling,Wu Yaming.A Novel Large-Scale Electromagnetically Actuated MEMS Optical Scanning Mirror[J].Chinese Journal of Semiconductors,2008,29(3). | |
| Authors: | Mu Canjun Zhang Feiling Wu Yaming |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |
| 点击此处可从《半导体学报》浏览原始摘要信息 | |
| 点击此处可从《半导体学报》下载全文 | |