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| 连续压入法评定等离子体增强化学气相沉积（PECVD）TiN膜基结 … | |
| 引用本文： | 谢飞,易茂中.连续压入法评定等离子体增强化学气相沉积（PECVD）TiN膜基结 …[J].江苏石油化工学院学报,1999,11(2):4-7. |
| 作者姓名： | 谢飞 易茂中 |
| 作者单位： | [1]江苏石油化工学院机械工程系 [2]西安交通大学材料工程学院 |
| 摘 要： | 介绍了一种新型涂层压入仪。对比了压入法，划痕地，接触疲劳法测定不同处理基体、同类ＰＥＣＶＤ ＴｉＮ膜基结合强度的变化规律。结果表明采用该压入仪，运用连续加载压入法，可方便地定性或半定量测定ＰＥＣＶＤ ＴｉＮ膜基结合优势。该法所测临界载荷Ｐｃ不仅反映膜基结合的优势，还反映了膜基体系的承载能力。 |
| 关 键 词： | 膜基结合强度 压入法 氮化钛 化学气相沉积 镀膜 |
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