| 纳米薄膜的分类、特性、制备方法与应用 |
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| 引用本文： | 沈海军,穆先才.纳米薄膜的分类、特性、制备方法与应用[J].微纳电子技术,2005,42(11):506-510. |
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| 作者姓名： | 沈海军 穆先才 |
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| 作者单位： | 南京航空航天大学航空宇航学院,南京,210016 |
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| 摘 要： | 介绍了纳米薄膜的分类以及纳米薄膜的光学、力学、电磁学与气敏特性;综述了现有的溶胶鄄凝胶法、LB鄄膜法、电化学沉积法、化学汽相沉积、低能团簇束沉积法、真空蒸发法、溅射沉积、分子与原子束外延、分子自组装等纳米薄膜制备技术;概括了纳米薄膜的应用。
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| 关 键 词： | 纳米薄膜 特性 制备方法 应用 |
| 文章编号： | 1671-4776(2005)11-0506-05 |
| 修稿时间： | 2004年12月13 |
Classification, Properties, Preparation Methods and Application of Nano-Membranes |
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| SHEN Hai-jun,MU Xian-cai.Classification, Properties, Preparation Methods and Application of Nano-Membranes[J].Micronanoelectronic Technology,2005,42(11):506-510. |
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| Authors: | SHEN Hai-jun MU Xian-cai |
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| Abstract: | The classification and the optical,mechanical,electro-magnetical,and gas-sensitive properties of nano-membranes are introduced.Some current methods to produce nano-membranes,such as,sol-gel method,L-B membrane method,electro-chemical deposit,chemical vapor deposition,low-energy cluster beam evaporation,vacuum evaporation,spatter deposition,molecular or atomic beam epitaxy and molecular self-organization,are reviewed.Applications of nano-membranes are summarized. |
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| Keywords: | nano-membranes properties preparation method application |
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