| CuCl+注入α-Al2O3晶体退火后表面亚微米颗粒的形成情况研究 |
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| 引用本文： | 王春芬,黄宁康,张海峰,张永辉.CuCl+注入α-Al2O3晶体退火后表面亚微米颗粒的形成情况研究[J].材料开发与应用,2008,23(6). |
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| 作者姓名： | 王春芬 黄宁康 张海峰 张永辉 |
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| 作者单位： | 中国船舶重工集团公司第七二五研究所,河南洛阳,471039;四川大学原子核科学技术研究所,教育部辐射物理及技术重点实验室,四川成都,610064 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金
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| 摘 要： | CuC l+离子注入不同晶向的α-A l2O3晶体中,对在还原气氛下退火后的试样进行SEM表面观察。结果发现,不同注入条件和不同温度退火的不同晶向α-A l2O3晶体表面均形成弥散的亚微米颗粒。说明CuC l+离子注入α-A l2O3晶体产生的缺陷损伤在退火过程中,单个分散的带电色心缺陷与CuC l+离子形成的缺陷缔合体在恢复过程中发生了CuC l原子的偏聚,随着退火时间的增加,偏聚程度提高而形成颗粒,并逐渐长大形成亚微米颗粒。颗粒的大小和分布随注入条件以及退火温度不同而不同。
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| 关 键 词： | 离子注人 退火 偏聚 亚微米颗粒 |
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