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| AlN薄膜异质结构声波激发特性研究 | |
| 作者姓名： | 齐梦珂 李孟辉 程一民 潘虹芝 曹亮 牟笑静 |
| 作者单位： | 重庆大学 新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室,重庆 400060;中国电子科技集团公司第二十六研究所,重庆 400060 |
| 基金项目： | 国家重点研发计划基金资助项目(No．2016YFB0402700,No．2016YFB0402702);国家自然科学基金资助项目(No．52075061);中央高校基础研究基金资助项目(No．2019CDCGGD320) |
| 摘 要： | 该文分别开发了两种基于AlN压电材料和原子数分数为10%的Sc掺杂AlN压电材料的薄膜叠层异质谐振器。通过有限元仿真和实验对比分析了器件的频率温度性能和Sc掺杂对谐振器声激励的影响。结果表明,Sc掺杂可能会影响压电薄膜叠层谐振器所激励声波的谐振频率、机电耦合系数和对应的频率温度系数(TCF),且对所激励声波的正反谐振点的TCF影响不同。此研究在传感及滤波器件领域极具应用潜力。 |
| 关 键 词： | 谐振器 声波激励 氮化铝钪 温度稳定性 机电耦合系数 |
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