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| 激光修补技术在修复薄膜图形缺陷上的应用——薄膜图形缺陷激光修补机 | |
| 引用本文： | 万承华,宋体涵.激光修补技术在修复薄膜图形缺陷上的应用——薄膜图形缺陷激光修补机[J].电子工业专用设备,2015(6). |
| 作者姓名： | 万承华 宋体涵 |
| 作者单位： | 深圳清溢光电股份有限公司,广东深圳,518000 |
| 摘 要： | 阐述了应用激光修补技术在玻璃基板上去除金属及其化合物薄膜和在玻璃基板上沉积金属薄膜的图形缺陷修补原理与方法;简述了影响薄膜图形缺陷修补质量与效率的关键技术;简单介绍了薄膜图形缺陷激光修补机的系统构成及其技术与性能指标. |
| 关 键 词： | 激光化学气相沉积(LCVD) 金属薄膜 快速成膜 激光快速去除(ZAP) 设备参数 |
The Application of Laser Repair Technology in Fixing Defects of the Thin Film Pattern———The repairing machine for the defects of the thin film pattern |
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| WAN Chenghua,SONG Tihan.The Application of Laser Repair Technology in Fixing Defects of the Thin Film Pattern———The repairing machine for the defects of the thin film pattern[J].Equipment for Electronic Products Marufacturing,2015(6). | |
| Authors: | WAN Chenghua SONG Tihan |
| Abstract: | |
| Keywords: | L aser chem ical vapor deposition (L C V D ) M etal film s laser ablation R apid film form ation L aser rapid film rem oval (Z A P ) E quipm ent param eters |