| 非晶Co-Nb-Zr薄膜的纳米晶化及磁性 |
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| 引用本文： | 蒋向东,张怀武,文歧业,石玉.非晶Co-Nb-Zr薄膜的纳米晶化及磁性[J].真空科学与技术学报,2005,25(1):37-40. |
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| 作者姓名： | 蒋向东 张怀武 文歧业 石玉 |
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| 作者单位： | 电子科技大学微电子与固体电子学院,成都,610054 |
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| 基金项目： | 国家重大基础研究发展计划 (973计划 )资助课题 (No .5 13 10Z0 5 -1) |
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| 摘 要： | 采用扫描式差热(DSC)分析、X射线衍射(XRD)、透射电镜(TEM)、梯度样品磁强计(AGM)和磁力显微镜（MFM)，研究磁控溅射制备的Co0.8Nb14Zr5.2磁性薄膜，在485℃～550℃间的等温晶化行为以及快速纳米晶化30s后的薄膜结构和磁性。结果表明，非晶薄膜的晶化温度在420℃～450℃，Avrami指数在1．17～1．39，晶化行为以一维形核长大为主。纳米晶Co-Nb-Zr薄膜的磁性能受晶粒大小和晶粒对非晶基体形成应力以及磁晶各向异性的共同影响。
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| 关 键 词： | 纳米晶化 非晶 形核 晶化行为 基体 晶化温度 TEM 磁性 薄膜 一维 |
| 文章编号： | 1672-7126(2005)01-0037-04 |
| 修稿时间： | 2004年8月28日 |
Formation of Nano-Grains in Amorphous Co-Nb-Zr Films and Its Magnetic Properties |
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| Jiang Xiangdong,Zhang Huaiwu,WEN QiYe,Shi Yu.Formation of Nano-Grains in Amorphous Co-Nb-Zr Films and Its Magnetic Properties[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2005,25(1):37-40. |
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| Authors: | Jiang Xiangdong Zhang Huaiwu WEN QiYe Shi Yu |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Co base Nanocrystalline Soft magnetic thin film Crystallization |
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