氟化氢渗透管的制作和氟化氢标准气的配制

目前国内尚未见到有关 HF 渗透管的制备和 HF 渗透管配气的报告。我们研制的 HF 渗透管用聚四氟乙烯棒料做成。管帽和管体用螺纹连接,可以严格密封。当温度恒定时,单位时间内渗透出的 HF 量是恒定的。渗透率用重量法测定。温度、湿度、渗透管的材料、形状、大小以及渗透面的清洁程度都对渗透率有影响。配制浓度很低(ppb 或 ppt 级)的标准气,必须采用二次稀释法。