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Newport开发新型光纤激光器
作者姓名:
朝阳(编译)
摘 要:
光纤激光器因其独特的优势,已经用于处理电介质、玻璃和半导体材料,比如聚酰亚胺的处理速度达到了10m/s,ITO的处理速度达到了25m/s。进一步提高精度可以还可以使处理速度比普通Q开关激光器高5~10倍。未来将要代替大尺寸的氩离子光源。现有的低功率的UV皮秒激光器,以及用于微材料处理的UV纳秒激光器。
关 键 词:
光纤激光器 开发 Q开关激光器 半导体材料 皮秒激光器 速度比 聚酰亚胺 材料处理
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