上海光机所首次采用石英玻璃研制出高性能偏振分光器

上海光机所周常河课题组最近利用高密度等离子体刻蚀设备、半导体光刻工艺技术和激光全息技术，发展出石英玻璃深刻蚀技术，成功地在石英玻璃基底上加工出优化深度的亚波长光栅，实验证明其具有很高的偏振隔离度和衍射效率，是非常优良的偏振分光器件。