| MEMS惯性组件的误差特性分析与标定 |
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| 引用本文： | 于婷,孙伟,文剑.MEMS惯性组件的误差特性分析与标定[J].传感技术学报,2016,29(6):859-864. |
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| 作者姓名： | 于婷 孙伟 文剑 |
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| 作者单位： | 辽宁工程技术大学测绘与地理科学学院,辽宁阜新,123000;辽宁工程技术大学测绘与地理科学学院,辽宁阜新,123000;辽宁工程技术大学测绘与地理科学学院,辽宁阜新,123000 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目(41304032)；高等学校博士学科专项科研基金(新教师类)项目(20132121120005)；第8批中国博士后科学基金特别项目(2015T80265)；第58批中国博士后科学基金面上项目(2015M581360)；辽宁省高等学校杰出青年学者成长计划项目(LJQ2015044)；辽宁省“百千万人才工程”培养经费项目(辽百千万立项[2015]76号)；辽宁省自然科学基金项目(2015020078)；江西省数字国土重点实验室开放研究基金项目(DLLJ201501)；精密工程与工业测量国家测绘地理信息局重点实验室开放基金项目(PF2015-13)；地球空间环境与大地测量教育部重点实验室开放基金项目(14-01-05)；对地观测技术国家测绘地理信息局重点实验室基金项目(K201401)；海岛(礁)测绘技术国家测绘地理信息局重点实验室项目(2014B05) |
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| 摘 要： | 针对惯性器件输出受工作环境及器件自身噪声影响，导致惯性组件输出信噪比低进而影响系统定位测姿精度等问题，提出MEMS惯性组件误差分析与标定方案。利用Allan方差对MEMS输出进行辨识，对输出信息曲线拟合并确立MEMS器件误差项的误差取值，建立MEMS几何误差模型并设计分立式标定方案。转台实验结果表明，24位置及速率标定方法可实现惯性组件常值误差系数的有效分离与求取，对比器件误差补偿前后的结果，验证了误差修正方案的可行性。
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| 关 键 词： | MEMS 标定 速率实验 艾伦方差 24位置 |
Error Analysis and Calibration of MEMS Inertial Components |
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| YU Ting,SUN Wei,WEN Jian.Error Analysis and Calibration of MEMS Inertial Components[J].Journal of Transduction Technology,2016,29(6):859-864. |
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| Authors: | YU Ting SUN Wei WEN Jian |
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| Abstract: | In view of the influence of the working environment and the noise of the inertial sensor,the output signal noise ratio is low and the accuracy of the system is affected. The error analysis and calibration scheme of MEMS in?ertial device is proposed. MEMS output is identified by Allan variance method. The error term of data acquisition is obtained by curve fitting of output information. The error coefficients in the model are solved by using MEMS error model and tewnty-four position and speed calibration method. Experimental results of Turntable show that the meth?od of combining calibration based on position and rate can be used to extract the error coefficients of MEMS inertial device. The comparison results Verified that the error correction scheme is feasible. |
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| Keywords: | MEMS calibration rate experiment Allan variance twenty-four position |
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