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| 非接触式表面电势测量的MEMS微型静电压仪 | |
| 引用本文： | 彭春荣,刘世国,张海岩,郭鑫,夏善红.非接触式表面电势测量的MEMS微型静电压仪[J].仪表技术与传感器,2009(Z1). |
| 作者姓名： | 彭春荣 刘世国 张海岩 郭鑫 夏善红 |
| 作者单位： | 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100190;中国科学院研究生院,北京,100039 |
| 摘 要： | 针对工业中的表面电势测量应用,研制了一种新型的基于微机械加工技术(MEMS技术)的微型静电压仪.为了提高器件的信噪比和灵敏度,传感器敏感结构基于谐振式工作原理,并采用差分激励和差分敏感的结构设计.基于高速数字芯片和数字信号处理技术,研制了传感器的数字化检测系统原理样机.该传感器可实现非接触式表面电势测量,在距离目标表面20 mm位置,该传感器最小分辨电压优于10 V,精度优于10%.文中还进行了摩擦泡沫表面电势的测量,试验结果表明:该传感器可反映表面电势的变化和电荷衰减. |
| 关 键 词： | 静电压测试 电场传感器 非接触静电压仪 微机电系统(MEMS) 谐振器 |
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