| 氮原子离子束源的设计研制与应用 |
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| 引用本文： | 王培元,沈宏,秦宗益,应萱同,王培南.氮原子离子束源的设计研制与应用[J].真空科学与技术学报,2003,23(1):47-49. |
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| 作者姓名： | 王培元 沈宏 秦宗益 应萱同 王培南 |
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| 作者单位： | 1. 上海市机电工业学校,上海,200091
2. 先进光子学材料与器件国家重点实验室,复旦大学光科学与工程系,上海,200433 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助 (No 60 1780 3 1，10 0 75 0 12 ) |
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| 摘 要： | 本文介绍了一种采用直流辉光放电的氮原子离子束源的设计 ,对放电参数进行了分析 ,根据离子束流的质谱测量可知 ,氮离子束中N+ 与N+ 2 之比可高达 5∶1,大大优于其他的一些离子束源。对这个离子束源的应用作了简单的介绍
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| 关 键 词： | 直流辉光放电 氮离子束 质谱分析 |
| 文章编号： | 0253-9748(2003)01-0047-03 |
| 修稿时间： | 2002年6月21日 |
Development and Applications of New Nitrogen Atomic Ion Source |
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| Wang Peiyuan.Development and Applications of New Nitrogen Atomic Ion Source[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2003,23(1):47-49. |
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| Authors: | Wang Peiyuan |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | DC glow discharge Nitrogen ion beam Mass spectroscopy analysis |
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