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| 最近油扩散泵技术的发展与实例 | |
| 引用本文： | 渡道紘二 ,王泉清.最近油扩散泵技术的发展与实例[J].真空,1979(3). |
| 作者姓名： | 渡道紘二 王泉清 |
| 作者单位： | (日本) |
| 摘 要： | 1、前言 近十几年来,油扩散泵在工艺上已有了显著的发展。近来,不使用液氮冷阱可获得10-9托的极限真空度,同一口径的泵抽速几乎提高了一倍;最大允许反压强及最大流量也大幅度地提高了,泵入口处工作液返油率已降低到10-3毫克/厘米2·分左右。 扩散泵性能的这些提高在很大程度上是依赖高性能的工作液(即常温下蒸汽压强在10-10托以下,在高温下不会引起热分解及氧化,在常温下具有适当粘度的工作液)的相继出现而实现的。 油扩散泵最伤脑筋的问题是工作液蒸汽的返流引起被抽系统的污染。油扩散泵所具有的许多优点都被这一缺点所掩盖了,因而出现了… |
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