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| 纳米复合材料研究回顾与展望(上) | |
| 作者姓名： | 黄庆红 孙强 |
| 作者单位： | 工业和信息化部电子科学技术情报研究所;中国重型机械有限公司; |
| 摘 要： | <正>1959年著名诺贝尔物理学奖得主理查德·费曼评论道:"底层有更大的空间"[1],一个科学技术的新世界即将到来。1974年谷口纪男在论述微电子学进展时第一次使用"纳米技术"。20世纪50-70年代,采用微加工技术使微电子器件小型化的研究成果大量涌现,几乎每天都有新颖微型大规模集成电路问世。根据摩尔定律(1965年),每个芯片上的器件数量每24个月增长1倍。从那时起一个纳 |
| 关 键 词： | 纳米复合材料 微电子器件 纳米技术 微加工技术 摩尔定律 诺贝尔物理学奖 费曼 谷口 纳米填料 研究成果 |
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