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| 铜蒸气激光诱导硅掺硼的实验研究 | |
| 引用本文： | 钱育军,潘佰良,姚志欣,齐仲甫.铜蒸气激光诱导硅掺硼的实验研究[J].量子电子学报,1994(2). |
| 作者姓名： | 钱育军 潘佰良 姚志欣 齐仲甫 |
| 作者单位： | 浙江大学物理系 |
| 摘 要： | 铜蒸气激光诱导硅掺硼的实验研究钱育军，潘佰良，姚志欣，齐仲甫（浙江大学物理系，杭州３１００２７）制作ＰＮ结的传统方法是扩散和离子注入法，但装置较复杂，处理步骤多，结厚，不易控制，无法重掺。而激光诱导可利用激光的能量高度集中特性，使半导体表面的极浅层迅... |
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