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发展国内半导体设备工业的瓶颈在哪里
作者姓名:莫大康
摘    要:
第十一个五年计划倡导发展制造业,其中半导体设备业列于其中.近年来,国内半导体设备业取得了前所未有的成果,基本上能满足6英寸及以下设备的国内需求,思路也逐渐拓宽,所以中国半导体设备业的信心日益提高.……

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