| 标准CMOS工艺下高速集成大光敏面光电探测器芯片的研制 |
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| 引用本文： | 史晓凤,王戴木,王峰,赵正平,王诗兵,韩波,牛磊,宋有才,李军,王静,程翔,陈朝.标准CMOS工艺下高速集成大光敏面光电探测器芯片的研制[J].光电子．激光,2015,26(8):1460-1467. |
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| 作者姓名： | 史晓凤 王戴木 王峰 赵正平 王诗兵 韩波 牛磊 宋有才 李军 王静 程翔 陈朝 |
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| 作者单位： | 阜阳师范学院 计算机与信息工程学院,安徽 阜阳,236037;阜阳师范学院 计算机与信息工程学院,安徽 阜阳,236037;阜阳师范学院 计算机与信息工程学院,安徽 阜阳,236037;阜阳师范学院 计算机与信息工程学院,安徽 阜阳,236037;阜阳师范学院 计算机与信息工程学院,安徽 阜阳,236037;阜阳师范学院 计算机与信息工程学院,安徽 阜阳,236037;阜阳师范学院 计算机与信息工程学院,安徽 阜阳,236037;阜阳师范学院 计算机与信息工程学院,安徽 阜阳,236037;阜阳师范学院 计算机与信息工程学院,安徽 阜阳,236037;阜阳师范学院 计算机与信息工程学院,安徽 阜阳,236037;厦门大学 物理与机电 工程学院,福建 厦门 361005;厦门大学 能源研究院,福建 厦门 361005 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(61205060)、国家自然科学基金青年基金(61401101)、 东南大学毫米波国家重点实验室开放基金(K201401)、安徽省自然科学基金(1408085QF122)和安徽高校省级自然科学研究(2014KJ022)福建省科技计划重点(2013H0047)、阜阳师范 学院博士科研启动基金(FSB201501002)和阜阳师范学院科技成果孵化基金(2013KJFH05) 和资助项目 (1.阜阳师范学院 计算机与信息工程学院,安徽 阜阳,236037； 2.厦门大学 物理与机电工程学院,福建 厦门 361005； 3.厦门大学 能源研究院,福建 厦门 361005) |
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| 摘 要： | 为提高大纤芯(1mm)塑料(POF)光纤通信用的 单片集成光接收机(OEIC)的速率并降低成 本,对Si基大光敏面光电探测器(PD)的结构、性能以及后续放大电路进行了研究。首先 ,基于标准CMOS 工艺流程对N+/N-well/ p-sub PD结构进行建模和优化设计,对其光谱响应曲线和频率 特性曲线进行了仿真； 其次,建立PD等效电路模型,结合设计的后续放大电路进行协同设计与仿真；最后,采用0.5μm CMOS工 艺对单个面积为200μm×200μm的PD以及后续放大电路单片集成电路进行了流片、 封装和测试。实验结 果表明,在－2.5V偏压下和650nm波长入射 光,N+/N-well/p-sub PD的响应度约有0.12A/W,暗电流约为－9pA；单 片光接收机在小于10－9的误码率BER条件下,灵敏度为－23dBm,并得到250Mbit/s速率的清晰眼图。
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| 关 键 词： | 光接收芯片 塑料光纤(POF)通信 单片集成 光电探测器(PD) CMO S工艺 |
| 收稿时间： | 2015/4/11 0:00:00 |
Research on high-speed optical receiver with integrated large photosensitive surface photodetector based on standard CMOS process |
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| SHI Xiao-feng,WANG Dai-mu,WANG Feng,ZHAO Zheng-ping,WAN G Shi -bing,HAN Bo,NIU Lei,SONG You-cai,LI Jun,WANG Jing,CHENG Xiang and CHEN Chao.Research on high-speed optical receiver with integrated large photosensitive surface photodetector based on standard CMOS process[J].Journal of Optoelectronics·laser,2015,26(8):1460-1467. |
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| Authors: | SHI Xiao-feng WANG Dai-mu WANG Feng ZHAO Zheng-ping WAN G Shi -bing HAN Bo NIU Lei SONG You-cai LI Jun WANG Jing CHENG Xiang and CHEN Chao |
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| Affiliation: | School of Computer and Information Engineering,Fuyang Teachers College,Fu yang 236037,China;School of Computer and Information Engineering,Fuyang Teachers College,Fu yang 236037,China;School of Computer and Information Engineering,Fuyang Teachers College,Fu yang 236037,China;School of Computer and Information Engineering,Fuyang Teachers College,Fu yang 236037,China;School of Computer and Information Engineering,Fuyang Teachers College,Fu yang 236037,China;School of Computer and Information Engineering,Fuyang Teachers College,Fu yang 236037,China;School of Computer and Information Engineering,Fuyang Teachers College,Fu yang 236037,China;School of Computer and Information Engineering,Fuyang Teachers College,Fu yang 236037,China;School of Computer and Information Engineering,Fuyang Teachers College,Fu yang 236037,China;School of Computer and Information Engineering,Fuyang Teachers College,Fu yang 236037,China;School of Physics and Mechanical & Electrical Engin eering,Xiamen University,Xiamen 361005,China;School of Energy Research ,Xiamen University,Xiamen 361005,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | optical receiver plastic optical fiber (POF) communication monolithic integrat ed circuit photodetector (PD) CMOS process |
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