| 微机械电容式加速度传感器的设计与加工工艺 |
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| 引用本文： | 胥震,欧阳清,施冠羽,易定和.微机械电容式加速度传感器的设计与加工工艺[J].仪表技术与传感器,2012(10):1-3,14. |
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| 作者姓名： | 胥震 欧阳清 施冠羽 易定和 |
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| 作者单位： | 海军工程大学船舶与动力学院,湖北武汉,430033 |
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| 摘 要： | 对定齿偏置电容式加速度传感器进行了参数设计和优化。通过有限元仿真分析软件计算出其特征频率与典型振动模态,结果表明:传感器具有较大的频率响应范围,检测模态特征频率远小于其他模态,有效减小了交叉干扰。最后,给出了基于MEMS技术的电容式加速度传感器的加工工艺。
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| 关 键 词： | 微机电系统 电容传感器 有限元仿真分析 加工工艺 |
Design and Fabrication Process of Micro-machined Capacitive Acceleration Sensor |
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| XU Zhen
,
OUYANG Qing
,
SHI Guan-yu
,
YI Ding-he.Design and Fabrication Process of Micro-machined Capacitive Acceleration Sensor[J].Instrument Technique and Sensor,2012(10):1-3,14. |
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| Authors: | XU Zhen OUYANG Qing SHI Guan-yu YI Ding-he |
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| Affiliation: | (College of Naval Architecture and Power,Naval University of Engineering,Wuhan 430033,China) |
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