| 纳米晶软磁薄膜Fe-Ti-N的结构、磁学性能和热稳定性研究 |
| |
| 引用本文： | 李丹,顾有松,常香荣,李福燊,乔利杰,田中卓,方光旦,宋庆山.纳米晶软磁薄膜Fe-Ti-N的结构、磁学性能和热稳定性研究[J].金属学报,2003,39(2):204-208. |
| |
| 作者姓名： | 李丹 顾有松 常香荣 李福燊 乔利杰 田中卓 方光旦 宋庆山 |
| |
| 作者单位： | 1. 北京科技大学材料物理系,北京,100083
2. 中国科学院计算技术研究所,北京,100080 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目19890310 |
| |
| 摘 要： | 在高溅射功率900W下用RF磁控溅射方法制备了厚为630－780nm的e-Ti-N薄膜。结果表明：当膜成分（原子分数，％，下同）在Fe-3.9Ti-8.8N和Fe-3.3Ti-13.5N范围内，薄膜由α′和Ti2N沉淀组成，磁化强度4πMs超过纯铁，最高可达2.38T；而矫顽力Hc下降为89A／m，可以满足针对1.55Gb/cm^2高存储密度的GMR／感应式复合读写磁头中写入磁头的需要，N原子进入α-Fe使α′具有高饱和磁化强度；Ti的加入，阻止α′→α γ′的分解，稳定了强铁磁性相α′，是Fe-Ti-N具有高饱和磁化强度的原因。由于由晶粒度引起的对Hc的影响程度Hc^D与晶粒度D有以下关系：Hc^D∝D^6，晶粒度控制非常重要。N原子进入α-Fe点阵的八面体间隙，引起极大的畸变，使晶粒碎化。提高溅射功率也使晶粒度下降。两者共同作用，能使晶粒度下降到约14nm，使Hc下降。晶界是择优沉淀地点，在α′晶界上沉淀Ti2N能起钉扎作用，阻止晶界迁移，使纳米晶α′不能长大。薄膜的结构和Hc的稳定温度不低于520℃。
|
| 关 键 词： | 结构 磁学性能 热稳定性 Fe－Ti－N纳米软磁薄膜 磁场热处理 高饱和磁化强度 |
| 文章编号： | 0412-1961(2003)02-0204-05 |
| 收稿时间： | 2002-04-22 |
| 修稿时间： | 2002年4月22日 |
THE STRUCTURE, PROPERTIES AND THERMAL STABILITY OF THE NANOCRYSTALLINE Fe-Ti-N SOFT MAGNETIC FILMS |
| |
| LI Dan,GU Yousong,CHANG Xiangrong,LI Fushen,QIAO Lijie,TIAN Zhongzhuo,FANG Guangdan,SONG Qingshan.THE STRUCTURE, PROPERTIES AND THERMAL STABILITY OF THE NANOCRYSTALLINE Fe-Ti-N SOFT MAGNETIC FILMS[J].Acta Metallurgica Sinica,2003,39(2):204-208. |
| |
| Authors: | LI Dan GU Yousong CHANG Xiangrong LI Fushen QIAO Lijie TIAN Zhongzhuo FANG Guangdan SONG Qingshan |
| |
| Affiliation: | Department of Materials Physics, University of Science & Technology Beijing, Beijing 100083 |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | Fe-Ti-N nano-soft magnetic film magnetic field heating treatment high satura- tion magnetigation |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《金属学报》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《金属学报》下载全文 |
