| 主从结构超精密运动平台的宏微控制系统设计 |
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| 引用本文： | 范文超,李晓宇,陈兴林,魏凯.主从结构超精密运动平台的宏微控制系统设计[J].自动化技术与应用,2015,34(6). |
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| 作者姓名： | 范文超 李晓宇 陈兴林 魏凯 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学航天学院,黑龙江哈尔滨,150001 |
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| 摘 要： | 本文对超精密运动平台宏微控制系统进行了设计,并分析对比了两种主从结构的宏微策略,确定了宏动跟随微动的设计方案.针对光刻机宏微模型耦合部分引起的平台运动控制误差,本文引入了线性状态观测器对其进行补偿,并针对微动台音圈电机位置伺服系统设计了线性扩张状态观测器来实现对干扰的抑制.实验结果表明,加入线性状态观测器能够提高宏微控制系统的控制性能.
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| 关 键 词： | 光刻机 宏微耦合 主从结构 线性状态观测器 |
Control Design of Macro-Micro System of Master-Slave Structure Ultra Precision Motion Platform |
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| FAN Wen-chao,LI Xiao-yu,CHEN Xing-lin,WEI Kai.Control Design of Macro-Micro System of Master-Slave Structure Ultra Precision Motion Platform[J].Techniques of Automation and Applications,2015,34(6). |
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| Authors: | FAN Wen-chao LI Xiao-yu CHEN Xing-lin WEI Kai |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | lithography macro-micro coupling The master-slave structure LESO |
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