元件底部的清洗

由于取缔厂CFC的使用，所以，各种不同的清洗工艺应运而生，并被确定为可行的替代技术。这几种清洗工艺有超声和批量空气喷淋以及在线清洗。通常，每种类型的清洗没备有其各自的优点和缺点，对于用户来说，其具有决然不同的重要性。