| TiO2薄膜紫外探测器的光电特性 |
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| 引用本文： | 甘勇,刘彩霞,张爽,薛海林,董玮,张歆东,邹博,吴凤清,徐宝琨,陈维友.TiO2薄膜紫外探测器的光电特性[J].半导体学报,2005,26(4):795-797. |
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| 作者姓名： | 甘勇 刘彩霞 张爽 薛海林 董玮 张歆东 邹博 吴凤清 徐宝琨 陈维友 |
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| 作者单位： | 吉林大学集成光电子国家重点联合实验室 长春130023
(甘勇，刘彩霞，张爽，薛海林，董玮，张歆东，徐宝琨)，吉林大学化学学院 长春130023
(邹博，吴凤清)，吉林大学集成光电子国家重点联合实验室 长春130023(陈维友) |
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| 摘 要： | 采用溶胶-凝胶法（Sol-Gel），在Si衬底上生长了TiO2纳米薄膜，并用此材料制备了光电导型的TiO2薄膜紫外光探测器．通过测量探测器的光电流与照射光波长的关系，可以看出，TiO2探测器在紫外波段230～280nm有很明显的光响应，光电流谱线近乎平坦；在280nm处光响应出现明显下降，且跨度较大，直至360nm又再次趋于平坦．测量了250nm波长处的响应度和外加偏压的关系，发现响应度随外加偏压的增加而增加，5V时达到饱和．
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| 关 键 词： | TiO2薄膜 紫外光电导探测器 MSM |
| 文章编号： | 0253-4177(2005)04-0795-03 |
| 修稿时间： | 2004年5月28日 |
Photocurrent Characteristics of Ultraviolet Photoconductive Detectors with TiO2 Film |
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| Gan Yong,Liu Caixia,Zhang Shuang,Xue Hailin,Dong Wei,Zhang Xindong,ZOU Bo,Wu Fengqing,Xu Baokun,Chen Weiyou.Photocurrent Characteristics of Ultraviolet Photoconductive Detectors with TiO2 Film[J].Chinese Journal of Semiconductors,2005,26(4):795-797. |
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| Authors: | Gan Yong Liu Caixia Zhang Shuang Xue Hailin Dong Wei Zhang Xindong ZOU Bo Wu Fengqing Xu Baokun Chen Weiyou |
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| Abstract: | The photocurrent characteristics of the photo conductive ultraviolet detector based on TiO_2 film grown on Si substrate by Sol-Gel are investigated.The spectral responsivity remains nearly constant for wavelength from 230 to 280nm and drops by one order of magnitude in 360nm.We also obtain the voltage-dependent responsivity. |
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| Keywords: | TiO_2 film photoconductive ultraviolet detectors MSM |
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