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| 光学薄膜激光预处理的研究 | |
| 作者姓名： | 包成芳 陈军 邱文法 洪治 王秀萍 |
| 作者单位： | 浙江大学光科系!杭州,310027,浙江大学光科系!杭州,310027,浙江大学光科系!杭州,310027,浙江大学光科系!杭州31,0027,浙江大学光科系!杭州,310027 |
| 摘 要： | 指出激光预处理是改善光学薄膜质量、提高其损伤阈值的行之有效的技术方案。实验表明,采用能量分级提升的方法,利用小光斑激光扫描,对不同制备工艺、不同材料的薄膜样品及其它光学材料进行激光预处理,不仅可以有效地消除薄膜元件表面的杂质、缺陷或吸附的水分等,而且普遍地提高了薄膜基体的损伤阈值。 |
| 关 键 词： | 光学薄膜 激光预处理 激光损伤阀值 |
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