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| 光栅纳米测量中的实时动态误差修正方法研究 | |
| 引用本文： | 余文新,邹自强,胡小唐.光栅纳米测量中的实时动态误差修正方法研究[J].仪器仪表学报,2001,22(Z2):63-64. |
| 作者姓名： | 余文新 邹自强 胡小唐 |
| 作者单位： | 1. 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072 2. 北京光电量仪研究中心,北京,100083 |
| 摘 要： | 本文首次提出了光栅纳米测量中莫尔条纹信号的参数连续性概念和一种以之为依据的新的实时动态误差修正方法,并进行了实验验证.它根据信号的实时特征参数及其变化规律工作,不仅能够修正系统误差,而且能够修正部分随机误差.应用本方法可极大地改善细分误差在全量程上的一致性,为通过后续的系统误差补偿实现光栅纳米测量打下良好基础. |
| 关 键 词： | 光栅 纳米测量 参数连续性 细分误差 误差修正 |
Research on Dynamic Realtime Error Correction Method in Grating-based Nanometrology |
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