无油超高真空系统的建立和升华泵蒸发率自动控制器

本文小结了为满足电真空器件生产要求而研制的无油超高真空系统的设计思想；全无油机组设计、冷阴极溅射离子泵、钦升华泵结构选择和使用方面的主要考虑；论述了实现蒸发率随压强变化而改变的全自动控制的途径。