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| 用于六硼化镧阴极的可调节恒流源 | |
| 引用本文： | 杨中山,陈坤仪.用于六硼化镧阴极的可调节恒流源[J].电工电能新技术,1991(2):24-28. |
| 作者姓名： | 杨中山 陈坤仪 |
| 作者单位： | 中国科学院电工研究所 (杨中山，陈坤仪，王岩红)，中国科学院电工研究所(马腾蛟) |
| 摘 要： | 本文简要介绍在电子束曝光机中的几种类型的阴极,主要描述了用于六硼化镧阴极的可调节恒流源,并给出了一些实验结果。 |
| 关 键 词： | 电子束曝光机 负极 六硼化镧 电源 |
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