| 柔性衬底ITO透明导电薄膜的光电性能研究 |
| |
| 引用本文： | 孙裔,刁训刚,杨盟,武哲,舒远杰.柔性衬底ITO透明导电薄膜的光电性能研究[J].稀有金属材料与工程,2007,36(1):86-90. |
| |
| 作者姓名： | 孙裔 刁训刚 杨盟 武哲 舒远杰 |
| |
| 作者单位： | 1. 北京航空航天大学,北京,100083
2. 中国工程物理研究院,化工材料研究所,四川,绵阳,621900 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金;中国工程物理研究院"双百"人才基金 |
| |
| 摘 要： | 利用直流磁控溅射方法在柔性聚酯薄膜衬底上制备了氧化铟锡（ITO）透明导电薄膜，采用X射线衍射、紫外．可见分光光度计、四探针电阻测量仪等测试手段对薄膜样品进行表征，研究了氧含量、薄膜厚度、村底负偏压对ITO薄膜的晶体结构和光电性能的影响，优化了柔性衬底ITO薄膜的制备工艺条件。制得样品的最佳可见光平均透过率为85．6％，方块电阻为6Ω／口。
|
| 关 键 词： | 直流磁控溅射 柔性衬底 ITO透明导电薄膜 |
| 文章编号： | 1002-185X(2007)01-0086-05 |
| 修稿时间： | 2006-01-11 |
Study on Electrical and Optical Properties of Flexible Transparent Conductive ITO Film |
| |
| Sun Yi,Diao Xungang,Yang Meng,Wu Zhe,Shu Yuanjie.Study on Electrical and Optical Properties of Flexible Transparent Conductive ITO Film[J].Rare Metal Materials and Engineering,2007,36(1):86-90. |
| |
| Authors: | Sun Yi Diao Xungang Yang Meng Wu Zhe Shu Yuanjie |
| |
| Affiliation: | 1. Beijing University of Aeronautics and Astronautics, Beijing 100083, China;2. Institute of Chemical Materials, CAEP, Mianyang, 621900, China |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | DC magnetron sputtering flexible substrate ITO transparent conductive thin film |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《稀有金属材料与工程》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《稀有金属材料与工程》下载全文 |
|
