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| 纯钛微细群孔的超声辅助光刻电解加工 | |
| 作者姓名： | 胡建华 汪炜 |
| 作者单位： | 1.淮海工学院，连云港,222005;2.南京航空航天大学，南京,210016 |
| 摘 要： | 采用光刻电解技术，可以选用对环境污染影响小、成本较低的腐蚀液，实现难蚀除金属材料的微细阵列结构加工,优于化学腐蚀方法。为克服电解过程中局部产生的热量和析氢造成的腐蚀不均，进行了纯钛（Ti的质量分数为99.6%）微细群孔的超声辅助光刻电解加工试验研究。试验结果表明，超声能显著改善极间工作液的循环，通过合理选择极间距离、电参数和声场参数等工艺条件，可以有效降低表面粗糙度，材料蚀除速率达到30μm/min。 |
| 关 键 词： | 钛；超声；光刻电解；蚀除速率；表面粗糙度 |
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