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| 梯形凸台衬底内条形半导体激光锁相列阵 | |
| 作者姓名： | 张世林 梁惠来 原小杰 杨德林 |
| 作者单位： | 天津大学电子工程系 天津300072(张世林，梁惠来，原小杰)，天津光纤信息技术开发公司 天津300020(杨德林) |
| 摘 要： | 在P型GaAs梯形凸台衬底上,利用一次液相外延技术,研制出内条形半导体激光锁相列阵.在直流工作条件下,单面最大输出功率超过136mW,平行于结平面方向远场半角宽度2.1°,器件最高激射温度超过80℃. |
| 关 键 词： | 半导体 激光 锁相列阵 液相外延 |
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