| 光刻机主基板的动态特性分析及优化 |
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| 引用本文： | 陈学东,郭合忠,严天宏,余显忠.光刻机主基板的动态特性分析及优化[J].中国机械工程,2007,18(21):0-2527. |
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| 作者姓名： | 陈学东 郭合忠 严天宏 余显忠 |
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| 作者单位： | 1. 华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室,武汉,430074
2. 上海微电子装备有限公司国家光刻设备工程技术研究中心,上海,201203 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划);国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 利用有限元分析理论和模态分析理论，分析了高分辨光刻机主基板的动态特性，分析结果表明主基板结构设计合理。结合模态试验，验证了主基板有限元模型的正确性。利用该有限元模型，进行了灵敏度分析，还进一步实现了主基板结构的优化设计。
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| 关 键 词： | 主基板 有限元分析 模态试验 优化设计 |
| 文章编号： | 1004-132X（2007）21-2524-04 |
| 修稿时间： | 2007-09-14 |
Dynamics Analysis of the Main-plate of Stepping-scanning Lithography and Optimization |
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| Chen Xuedong,Guo Hezhong,Yan Tianhong,Yu Xianzhong.Dynamics Analysis of the Main-plate of Stepping-scanning Lithography and Optimization[J].China Mechanical Engineering,2007,18(21):0-2527. |
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| Authors: | Chen Xuedong Guo Hezhong Yan Tianhong Yu Xianzhong |
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| Abstract: | The main--plate of the high--resolution stepping--scanning lithography was studied. Using the finite element analysis theory and modal analysis theory, dynamic characteristics of the main--plate were analyzed, and it proves the structural design is reasonable. Using modal test, the finite element model was validated. Using the finite element model, we carried out sensitive analysis, and implemented the optimization design. |
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| Keywords: | main--plate finite element analysis modal test optimization design |
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