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GD a-Si:(Cl,H)薄膜的ESR研究
引用本文:廖显伯,杨喜荣,刘昌灵,孔光临,侯贵,徐广智.GD a-Si:(Cl,H)薄膜的ESR研究[J].半导体学报,1983,4(6):593-595.
作者姓名:廖显伯  杨喜荣  刘昌灵  孔光临  侯贵  徐广智
作者单位:中国科学院半导体研究所 (廖显伯,杨喜荣,刘昌灵,孔光临),中国科学院化学研究所 (侯贵),中国科学院化学研究所(徐广智)
摘    要:报道了对a-Si:(Cl,H)与a-Si:H薄膜的ESR比较研究的结果.在a-Si:(Cl,H)中除g=2.005信号外未发现新的自旋信号,说明Cl原子上没有未配对电子;也没有发现在g=2.005附近有超精细结构,峰宽也无显著变化,说明Cl原子不在悬键附近.

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