GD a-Si:(Cl,H)薄膜的ESR研究 |
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引用本文: | 廖显伯,杨喜荣,刘昌灵,孔光临,侯贵,徐广智.GD a-Si:(Cl,H)薄膜的ESR研究[J].半导体学报,1983,4(6):593-595. |
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作者姓名: | 廖显伯 杨喜荣 刘昌灵 孔光临 侯贵 徐广智 |
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作者单位: | 中国科学院半导体研究所
(廖显伯,杨喜荣,刘昌灵,孔光临),中国科学院化学研究所
(侯贵),中国科学院化学研究所(徐广智) |
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摘 要: | 报道了对a-Si:(Cl,H)与a-Si:H薄膜的ESR比较研究的结果.在a-Si:(Cl,H)中除g=2.005信号外未发现新的自旋信号,说明Cl原子上没有未配对电子;也没有发现在g=2.005附近有超精细结构,峰宽也无显著变化,说明Cl原子不在悬键附近.
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