| 基于查表法的非等步相移误差修正算法研究 |
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| 引用本文： | 司书春,王蕴珊,等.基于查表法的非等步相移误差修正算法研究[J].光电子．激光,2003,14(1):67-70. |
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| 作者姓名： | 司书春 王蕴珊 |
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| 作者单位： | 山东大学物理与微电子学院,山东,济南,250061 |
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| 摘 要： | 在相移式轮廓测量（PMP）技术中，提出了一种基于查表法的相移校正算法，使传统的N步计算方法要以适用于任何相移值（非等步相移）的情况，从而降低了对相移器的精度要求。利用计算机传真技术验证了该修正算法的正确性。
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| 关 键 词： | 查表法 误差修正算法 移相式轮廓测量 PMP 非等步相移 相移校正 |
| 文章编号： | 1005-0086(2003)01-0067-04 |
| 修稿时间： | 2002年8月20日 |
Study on a Calibration Algorithm Based on Checking in Unequal Step Phase-shifting |
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| SI Shu chun,WANG Yun shan,XU Jian qiang,ZHOU Can lin,GAO Cheng yong.Study on a Calibration Algorithm Based on Checking in Unequal Step Phase-shifting[J].Journal of Optoelectronics·laser,2003,14(1):67-70. |
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| Authors: | SI Shu chun WANG Yun shan XU Jian qiang ZHOU Can lin GAO Cheng yong |
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| Abstract: | The shift step must be an accurate value in the traditional algorithm of phase measuring profilometry(PMP) technology.So the software is made to give a chart of error phase in any unequal step phase shifting,and a calibration algorithm is presented to give the correct phase based on this error phase chart.With the help of computer emluator written by us,the calibration algorithm based on checking proved to be correct.So the precise request of phase shifter is reduced greatly. |
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| Keywords: | phase measuring profilometry(PMP) unequal step phase shifting phase shifting calibrate |
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