| 碱催化多孔二氧化硅薄膜的制备和性能表征 |
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| 引用本文： | 殷明志,姚熹,张良莹.碱催化多孔二氧化硅薄膜的制备和性能表征[J].功能材料,2003,34(1):103-105. |
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| 作者姓名： | 殷明志 姚熹 张良莹 |
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| 作者单位： | 西安交通大学,电子材料及器件研究所,陕西,西安,710049 |
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| 摘 要： | 以水为介质,NH3·H2O为催化剂,丙三醇(C3H5(OH)3和聚乙烯醇(PVA)为添加剂,正硅酸乙脂(TEOS)溶胶 凝胶工艺可制备纳米多孔二氧化硅薄膜。体系的H2O/TEOS>15,TEOS的水解 聚合过程可通过添加剂效应,pH效应等控制。碱催化会使二氧化硅的溶解度增大,也能使二氧化硅胶粒带负电荷,抑制了二氧化硅胶粒之间的聚合长大,而丙三醇与TEOS的水解中间Si(OR)4-x(OH)x结合,抑制其与二氧化硅胶粒的聚合。聚乙烯醇(PVA)能使二氧化硅溶胶具有网状结构,使二氧化硅溶胶易于成膜。该工艺制备的多孔二氧化硅薄膜具有纳米多孔结构。其Vicker硬度在600～800N/mm2,热导率<0.2W·m-1K-1。
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| 关 键 词： | 碱催化 多孔二氧化硅薄膜 制备 性能表征 |
| 文章编号： | 1001-9731(2003)01-0103-03 |
| 修稿时间： | 2002年3月4日 |
Fabrication and characterization of nanoporous silica film |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | sol-gel technique TEOS nanoporous silica film |
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