| 三氯氢硅合成工艺及控制 |
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| 引用本文： | 李文光,李光茜,罗平,谭宗国.三氯氢硅合成工艺及控制[J].云南冶金,2010,39(5):44-47. |
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| 作者姓名： | 李文光 李光茜 罗平 谭宗国 |
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| 作者单位： | 昆明冶研新材料股份有限公司,云南昆明650031 |
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| 摘 要： | 介绍了三氯氢硅的基本性质、用途、生产工艺和生产设备,并针对生产过程的要求提出了控制解决方案。
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| 关 键 词： | 三氯氢硅 流化态沸腾炉 串级控制 比例控制 |
Process and Control of Trichlorosilane Synthesis |
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| LI Wen-guang,LI Guang-xi,LUO Ping,TAN Zong-guo.Process and Control of Trichlorosilane Synthesis[J].Yunnan Metallurgy,2010,39(5):44-47. |
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| Authors: | LI Wen-guang LI Guang-xi LUO Ping TAN Zong-guo |
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| Affiliation: | (Kunming Yeyan New-Material Co.,Ltd.,Kunming,Yunnan 650031,China) |
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| Abstract: | The basic properties,application,production process and facilities of trichlorosilane were introduced,and control solutions were put forward to meet the demand in the production process. |
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| Keywords: | trichlorosilane fluidized bed furnace cascade control proportional control |
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