| 以工艺为主线的MEMS设计工具IMEE |
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| 引用本文： | 郝一龙,张海霞,郭辉,肖志勇,周荣春. 以工艺为主线的MEMS设计工具IMEE[J]. 今日电子, 2003, 0(6): 40-41 |
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| 作者姓名： | 郝一龙 张海霞 郭辉 肖志勇 周荣春 |
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| 作者单位： | 北京大学微电子研究院 |
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| 摘 要： | IMEE是一个自主研发的MEMMS CAD系统，它包括结点化的系统设计功能、快速的力电耦合性能分析功能、参数化版图单元的版图设计功能、工艺编辑设计和三维模拟功能等。该系统的最大特点是以工艺为主线、贯穿整个设计过程，重点解决MEMS设计与工艺脱节的问题、实现MEMS工艺设计和在线模拟。另外、该系统是跨平台的，适用于UNIX和Windows操作系统，兼容其他MEMS CAD软件，还支持用户自主扩展其他功能模块。
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| 关 键 词： | MEMS IMEE CAD 系统设计 版图设计 工艺编辑设计 三维模拟 |
MEMS design tools IMEE features processing simulation and analysis |
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| Keywords: | IMEE MEMS CAD |
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