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用于垂直耦合的非对称光栅耦合器的研究进展
作者单位：上海交通大学先进电子材料与器件校级平台,上海200240
摘    要：
关 键 词：光栅  衍射光栅  光耦合  耦合效率  光栅制备  光栅仿真
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