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大气条件下金刚石的光等离子体沉积

引用本文：	李建权,储焰南.大气条件下金刚石的光等离子体沉积[J].光电子技术与信息,2002,15(4):44-45.

作者姓名：	李建权储焰南

作者单位：

摘要：
关键词：	金刚石等离子体激光碳相沉积
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